Resumen de Estudio de la interfase en diodos schottky sobre silicio

E. Calleja

• Se estudia el proceso tecnológico de fabricación de diodos schottky sobre silicio así como la evolución de la interfase con tratamientos térmicos en atmosfera reductora y su relaciona con los cambios de las características eléctricas fundamentales. Se obtiene y desarrolla un nuevo tipo de medida apta para obtener información de trampas profundas muy próximas a la interfase metal-semiconductor.