Resumen de 0-0Simulación FEM de µsistemas

José Antonio Plaza Plaza , Raquel Pérez Castillejos, Pere Losantos Viñolas, Miquel Vellvehí, Heiko Krassow, Andreas Götz, Ana Collado, Estrella F. González, Joaquin Santander Vallejo, Jaume Esteve Tintó

• El objetivo de este artículo es dar una idea general de la utilidad de los programas de métodos numéricos para el diseño de sistemas microelectromecánicos. Los sistemas microelectromecánicos son sensores o actuadores basados en la tecnología microelectrónica, tecnología desarrollada para la fabricación de chips. En muchos de estos dispositivos la electrostática o el magnetismo juegan un papel muy importante. Debido a la complejidad de estos dispositivos se hace necesaria la utilización de estas herramientas de cálculo para poder predecir con exactitud su funcionamiento.