REDUCED ORDER MODELING AND CONTROL OF THIN FILM GROWTH IN AN HPCVD REACTOR

• Autores: H.T. Tran, S.C. Beeler, H.T. Banks, G.M. Kepler
• Localización: Siam journal on applied mathematics, ISSN 0036-1399, Vol. 62, Nº 4, 2002, págs. 1251-1280
• Idioma: inglés
• DOI: 10.1137/s0036139901383280
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