Resumen de Método mixto para el cálculo de resistencias integradas

Michael González Harbour , José María Drake Moyano

• español

  Se presenta un método mixto para el cálculo de la resistencia correspondiente a las interconexiones integradas, a partir de la descripción geométrica de sus máscaras. Este método se basa en la descomposición de la figura original a través de líneas de fracturas cuasi-equipotenciales. Para el cálculo de la resistencia de cada una de las figuras elementales obtenidas en este proceso de fractura se utilizan tres técnicas diferentes, que se seleccionan en cada caso intentando aprovechar sus ventajas particulares. De esta forma el método mixto global constituye una herramienta eficiente que permite el cálculo de la resistencia de las interconexiones de una forma rápida y con el nivel de precisión que se necesita.

• English

  A mixed mode method for calculating the resistance of integrated interconnections from the geometrical description of its mask. This method is based on the decomposition of the original figure through cuasi-equipotential break lines. Three different thecniques, which are selected according to their particular advantages, are used for calculating the resisteçance of each of the simple figures obtained from the decomposition procces. In this way, the global method constitutes and efficient tool which allows a fast calculation of the resistence of the integrated interconnections with the required accuracy.