Calibration of a white light interferometer for the measurement of micro-scale dimensions.

• Autores: César Ferri Ramírez , J. Faraway, E. Brousseau
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 47, Nº. 1-4, 2010, págs. 125-136
• Idioma: inglés
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