Touchdown and Pull-In Voltage Behavior of a MEMS Device with Varying Dielectric Properties

• Autores: Matthew A. Halverson, Howard A. Levine, Joanna Renclawowicz
• Localización: Siam journal on applied mathematics, ISSN 0036-1399, Vol. 66, Nº 1, 2005, págs. 361-364
• Idioma: inglés
• DOI: 10.1137/050631550
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